半導(dǎo)體實(shí)驗(yàn)室的凈化方案

隨著各類產(chǎn)品生產(chǎn)工藝技術(shù)、產(chǎn)品性能的不斷研究開(kāi)發(fā)、升級(jí)和各種使用要求，工業(yè)裝修對(duì)空氣潔凈度及污染物的控制要求不斷變化、提高，尤其是5G熱潮襲來(lái)、半導(dǎo)體集成電路的高速發(fā)展是潔凈度等級(jí)的擴(kuò)大和控制微粒粒徑日益嚴(yán)格的重要標(biāo)志。

千級(jí)凈化工程的應(yīng)用在機(jī)械電子等行業(yè)的裝修設(shè)計(jì)中較為廣泛使用。千級(jí)潔凈室指的是微塵數(shù)量被控制在每立方米1000個(gè)以內(nèi)，同時(shí)為了防止?jié)崈艨臻g受外界污染，在室內(nèi)壓差上也有所要求，通常要求內(nèi)部壓力(靜壓)＞外部壓力(靜壓);潔凈度要求高的空間壓力＞潔凈度要求低的空間壓力;潔凈室門的朝向應(yīng)開(kāi)向潔凈度級(jí)別高的房間。

千級(jí)潔凈室要獲得良好的潔凈效果，不僅要著重采取合理的空調(diào)凈化措施，而且也要求工藝、建筑及其他專業(yè)采取相應(yīng)的措施：不但要有合理的設(shè)計(jì)，而且還要精心的符合規(guī)范的施工安裝，以及正確的使用潔凈室和科學(xué)的維護(hù)管理。

實(shí)驗(yàn)室凈化空調(diào)方案

方案一:傳統(tǒng)的凈化空調(diào)設(shè)計(jì)方案。組合式空氣處理機(jī)組里含有各種功能段，如初效過(guò)濾段、混合段、表冷段、中效過(guò)濾段、二次回風(fēng)段(或中間段)加濕段、加熱段、風(fēng)機(jī)段等。其中冷源主要由冷水機(jī)組提供。

方案二:比較簡(jiǎn)單的潔凈空調(diào)設(shè)計(jì)方案。不僅可以大大地縮小機(jī)房的面積，還可以讓水冷柜機(jī)根據(jù)具體的情況布置在較小的凈化車間內(nèi)或機(jī)房?jī)?nèi),同時(shí)還可以將增壓風(fēng)柜布置于機(jī)房?jī)?nèi)或吊在機(jī)房?jī)?nèi)或在夾層內(nèi)。

方案三：主要用于對(duì)室內(nèi)溫濕度精度要求不高的無(wú)塵車間,是最簡(jiǎn)易的空調(diào)方案。可直接將分體空調(diào)柜機(jī)布置于車間內(nèi)，并用彩鋼圍護(hù)起來(lái)，在柜機(jī)回風(fēng)口處再在彩鋼板上開(kāi)回風(fēng)口(帶初效過(guò)濾網(wǎng));風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元FFU均勻布置于吊頂天花。